鑒別精密光學(xué)平臺(tái)質(zhì)量?jī)?yōu)劣的步驟

1、 外觀：

精密光學(xué)平臺(tái)外觀應(yīng)美觀，各部位都應(yīng)無(wú)影響安全的銳角及銳邊，更重要的是檢查孔口倒角是否均勻一致（螺孔旋入后應(yīng)垂直平臺(tái)面），四邊及其倒角是否平直一致。如果臺(tái)面未經(jīng)過(guò)機(jī)械加工而是人工打磨出來(lái)的孔口倒角是大小不一致的，沿臺(tái)面四周邊用目測(cè)即可看出臺(tái)面倒角處是彎曲的。

2、 固有頻率（≤2Hz）

固有頻率也稱(chēng)自然頻率、自振頻率，只有在環(huán)境擾動(dòng)力頻率（f）與精密光學(xué)平臺(tái)的固有頻率(fo)的比值f/fo＞√2時(shí)系統(tǒng)才有隔振作用。所以精密光學(xué)平臺(tái)的固有頻率越低，隔振效果效果就越好。該指標(biāo)的檢測(cè)一般采用振動(dòng)頻譜分析儀及便攜式振動(dòng)分析儀來(lái)進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量，如供應(yīng)商不具備儀器測(cè)量，您也可用以下方法：用手用力壓下（或側(cè)推）平臺(tái)，然后迅速松開(kāi)，讓其大幅度上下振動(dòng)（或左右、前后擺動(dòng)）起來(lái)，如一秒鐘內(nèi)往復(fù)一次即為1Hz，二次即為2Hz，依此類(lèi)推。須可粗略測(cè)得精密光學(xué)平臺(tái)的固有頻率。

3、 平面度（≤0.05㎜/㎡）

該指標(biāo)越小即表明臺(tái)面越平整，調(diào)整光路就越容易。一般出廠要求平面度小于0.05㎜/㎡，檢測(cè)方法一般有：光電自準(zhǔn)直儀法、光學(xué)平面度檢查儀檢測(cè)法、水平儀檢測(cè)法、激光平面度檢測(cè)儀等等。對(duì)安裝在實(shí)驗(yàn)室的精密光學(xué)平臺(tái)平面度一般采用光電直準(zhǔn)儀和光學(xué)平直度檢查儀檢測(cè)，經(jīng)計(jì)算后得出。這些儀器也是生產(chǎn)廠商應(yīng)必須配置的。

4、 表面密迪紋理及粗糙度（Ra≤0.8μm）

該指標(biāo)的意義在于保證精密光學(xué)平臺(tái)有一個(gè)光滑但無(wú)反射的工作表面。良好的表面粗糙度有利對(duì)實(shí)驗(yàn)儀器的保護(hù)，產(chǎn)品出廠要求一般在Ra≤0.8μm以下，粗糙度完成可采用對(duì)比樣板目測(cè)和粗糙度儀檢測(cè)，如果是現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)可采用粗糙度儀完成。該儀器具有便攜、可直讀數(shù)據(jù)、精度高等優(yōu)點(diǎn)。

5、 重復(fù)定位精度（±0.10㎜）

該指標(biāo)意義在于保證工作臺(tái)面在動(dòng)態(tài)條件下的水平，以方便使用者高速光路，檢測(cè)方法是將百分表（精度0.02㎜）固定在穩(wěn)固的物體上，表頭頂住臺(tái)面，然后在工作臺(tái)面上反復(fù)加載或卸載，待穩(wěn)定后讀數(shù)在范圍正負(fù)0.10㎜以?xún)?nèi)即為合格。

6、 工作臺(tái)面的振幅（So≤2μm）

在正常的使用環(huán)境下，為了保證儀器的使用精度，精密光學(xué)平臺(tái)必須提供盡可能低的振幅。同時(shí)也可通過(guò)臺(tái)面和地面振幅指標(biāo)的對(duì)比，反映系統(tǒng)的隔振性能。如平臺(tái)振幅小于地面振幅，則平臺(tái)是隔振的，反之則是不隔振或振動(dòng)放大的。振幅指標(biāo)的檢測(cè)，類(lèi)同固有頻率檢測(cè)。

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